国家/地区 日本(18) 美国(15)
IPC部 H(17) C(14) B(5)
G(3)
IPC大类 H01(17) C01(14) B82(5)
C23(2)
IPC小类 H01L(17) C01B(14) B82Y(5)
H01B(4) C23C(2)
IPC H01L023/532(16) H01L021/768(15) H01L021/3205(14)
C01B031/02(7) H01L021/28(6) H01L023/528(6)
B82Y030/00(5) C01B032/182(5) H01L023/522(5)
C01B032/15(4) C01B032/18(4) H01L021/336(4)
H01L023/52(4) C01B032/186(3) H01B005/14(3)
发明人 MIYAZAKI H(18)
公开年 2016(4) 2014(3) 2015(3) 2017(3) 2018(3)
申请年 2015(6)  2013(3)  2017(3)  2014(2)  2016(2) 
专利权人 TOSHIBA KK(17) KAJITA A(3) MIYAZAKI H(3) SAKAI T(3)
ISOBAYASHI A(2) SAITO T(2) WADA M(2)

WADA M, YAMAZAKI Y, MIYAZAKI H, KAJITA A, SAITO T, ISOBAYASHI A, ISHIKURA T, KATAGIRI M, SAKAI T