国家/地区 中国(29) 日本(3) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(19) C(16) B(5)
G(2)
IPC大类 H01(19) C01(11) C23(8)
C30(7) B82(4) C09(2)
G01(2)
IPC小类 H01L(18) C01B(11) C23C(8)
C30B(7) B82Y(4) C09K(2)
IPC H01L021/336(7) C01B031/04(6) C01B032/186(6)
H01L021/28(6) C23C016/26(5) C30B029/02(5)
B82Y040/00(4) H01L043/06(3) H01L043/14(3)
C01B032/182(2) C09K005/14(2) C23C014/06(2)
C23C014/18(2) C23C014/35(2) C30B023/00(2)
发明人 WANG H(30)
公开年 2014(8) 2016(6) 2015(5) 2013(4) 2022(2)
申请年 2013(6)  2015(6)  2012(4)  2014(4)  2016(4) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(30)