国家/地区 中国(18)
IPC部 H(16) C(4) G(3)
B(2)
IPC大类 H01(16) B82(2) C01(2)
C23(2) G11(2)
IPC小类 H01L(16) B82Y(2) C01B(2)
C23C(2) G11C(2)
IPC H01L021/285(3) H01L021/336(3) C01B031/04(2)
H01L021/02(2) H01L021/283(2) H01L045/00(2)
发明人 ZHOU P(18)
公开年 2014(9) 2012(4) 2011(3) 2010(2)
申请年 2014(6)  2011(5)  2013(3)  2010(2)  2012(2) 
专利权人 UNIV FUDAN(18)