国家/地区 美国(8) 世界知识产权组织(6) 韩国(5) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 台湾(2)
IPC部 C(11) H(7) B(6)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11) C23C(11) H01L(7)
B82Y(4) B32B(3) H01B(3)
C04B(2) C30B(2) H05K(2)
IPC C01B021/064(11)
发明人
公开年 2021(3) 2013(2) 2016(2)
申请年 2011(2)  2021(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)