国家/地区 中国(12) 美国(8) 世界知识产权组织(5) 韩国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 台湾(3) 日本(2)
IPC部 C(17)
IPC大类 C23(17) C01(8) H01(5)
B82(4) B05(3) B32(3)
C30(2)
IPC小类 C23C(17) C01B(8) B82Y(4)
H01L(4) B05D(3) B32B(3)
C30B(2)
IPC C23C014/48(17)
发明人 DI Z(3) DONG L(2) LI X(2)
VEERASAMY V(2) VEERASAMY V S(2) XUE Z(2)
ZHANG Y(2) ZHENG P(2)
公开年 2010(2) 2011(2) 2012(2) 2018(2) 2023(2)
申请年 2012(3)  2018(3)  2009(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(4) GUARDIAN GLA.(2) GUARDIAN IND.(2)