国家/地区 中国(5) 美国(5) 韩国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10)
IPC小类 C23C(10) C01B(5) H01L(4)
IPC C23C016/34(10)
发明人
公开年 2021(5) 2022(4)
申请年 2021(10)
专利权人