国家/地区 | 中国(5) 美国(5) 韩国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(10)![]() |
IPC大类 |
C23(10)![]() |
IPC小类 |
C23C(10)
C01B(5)
H01L(4)
|
IPC |
C23C016/34(10)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(5) 2022(4) |
申请年 |
2021(10)![]() |
专利权人 |
SHIN H, SHIN K, LEE C, LEE C S, SHIN K W, SHIN H J
ELSAYED K A M, MAAROUF A A
LI J, LUO J, ZHANG R, SUN S
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SHARMA K
HUANG L, LU H, MA Z, WANG C, FANG M, CAI G, GAO J, HUANG S