国家/地区 韩国(25) 美国(23) 中国(17) 世界知识产权组织(13) 欧洲专利局(EPO)(9) 日本(9) 台湾(6) 印度(4) 加拿大(3) 澳大利亚(2) 法国(2)
IPC部 H(39) C(24) B(9)
G(6)
IPC大类 H01(39) C23(15) B82(6)
C01(6) C09(5) C30(5)
B01(4) C08(3) C25(3)
G03(3) B05(2) B22(2)
C04(2) G01(2)
IPC小类 H01L(39) C23C(15) B82Y(6)
C01B(6) C30B(5) B01J(3)
C09D(3) C25D(3) G03F(3)
B05D(2) B22F(2) C04B(2)
C08K(2) C09K(2) G01N(2)
IPC H01L021/02(39)
发明人 SHIN H(6) SHIN H J(6) BYUN K(3)
BYUN K E(3) LEE C(3) LEE C S(3)
AHN W(2) AHN W S(2) CHO Y(2)
CHO Y C(2) FIMLAND B M(2) GABEN F(2)
KIM C(2) KIM D(2) KIM H(2)
公开年 2021(39)
申请年 2020(39)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(9) UNIV SUNGKYU.(3) CRAYONANO AS(2) UNIST ULSAN .(2)