国家/地区 | 美国(15) 世界知识产权组织(10) 韩国(9) 日本(6) 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 法国(2) |
IPC部 |
C(17)![]() |
IPC大类 |
C01(17)
H01(17)
B82(14)
B05(4) B32(4) C23(4) B01(2) |
IPC小类 |
C01B(17)![]() |
IPC |
H01L021/02(17)![]() |
发明人 | HIURA H(2) TSUKAGOSHI K(2) |
公开年 | 2012(11) 2013(5) |
申请年 |
2011(17)![]() |
专利权人 | NAT INST MAT.(2) NEC CORP(2) SAMSUNG ELEC.(2) |
GANG B S, HUI H B, HYEON A J
GHARIB M, ARIA A I, GANI A W
CHOI B, LEE E, WHANG D, CHOI B L, LEE E K, WHANG D M, CHOE P, HWANG T