国家/地区 美国(15) 世界知识产权组织(10) 韩国(9) 日本(6) 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 法国(2)
IPC部 C(17)
IPC大类 C01(17) H01(17) B82(14)
B05(4) B32(4) C23(4)
B01(2)
IPC小类 C01B(17)
IPC H01L021/02(17)
发明人 HIURA H(2) TSUKAGOSHI K(2)
公开年 2012(11) 2013(5)
申请年 2011(17)
专利权人 NAT INST MAT.(2) NEC CORP(2) SAMSUNG ELEC.(2)