国家/地区 美国(11) 日本(5) 世界知识产权组织(5) 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12) H01(12) B32(3)
B82(2) C23(2) C30(2)
IPC小类 C01B(12)
IPC H01L021/02(12)
发明人 SATO S(2) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2014(6) 2015(5)
申请年 2014(12)
专利权人 FUJITSU LTD(2) NAT INST ADV.(2) SAMSUNG ELEC.(2)