国家/地区 | 美国(11) 日本(5) 世界知识产权组织(5) 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(12)![]() |
IPC大类 |
C01(12)
H01(12)
B32(3)
B82(2) C23(2) C30(2) |
IPC小类 |
C01B(12)![]() |
IPC |
H01L021/02(12)![]() |
发明人 | SATO S(2) YAMAGUCHI J(2) |
公开年 | 2014(6) 2015(5) |
申请年 |
2014(12)![]() |
专利权人 | FUJITSU LTD(2) NAT INST ADV.(2) SAMSUNG ELEC.(2) |
ARNOLD M S, JACOBBERGER R M
SUH H, JEON I, SONG Y J, WU Q, JUNG S, JEON I S, JUNG S J, SUH H S, SONG Y
IACOPI F, AHMED M, CUNNING B V
YAMAGUCHI J, SATO S, YAMADA H, TANAKA K, YAMADA Y
FUJII TAKESHI, SATO MARIKO, FUJII T, SATO M