国家/地区 日本(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C23(14)
IPC小类 C23C(13) C01B(12) H01L(5)
B01J(4) B32B(3) C23F(2)
C30B(2) H01M(2)
IPC C23C016/26(8) C01B031/02(7) C01B031/04(6)
C01B032/186(4) B32B009/00(3) C01B032/15(3)
C01B032/182(3) C01B032/184(3) C01B032/194(3)
C23C014/06(3) C23C016/01(3) C23C016/02(3)
C23C016/455(3) B01J023/755(2) B32B018/00(2)
发明人
公开年 2016(14)
申请年 2015(7)  2014(4)  2016(3) 
专利权人 DENSO CORP(2)