国家/地区 中国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C30(12)
IPC小类 C30B(12)
IPC C30B029/02(7) C30B025/00(3) C30B025/18(3)
C30B025/02(2) C30B029/06(2) C30B033/10(2)
H01L021/02(2)
发明人 JU Q(2) LI X(2) MA Y(2)
WANG J(2) WANG W(2) ZHANG S(2)
公开年 2019(12)
申请年 2019(11) 
专利权人 SHANGHAI INS.(3)