国家/地区 中国(14) 韩国(8) 美国(8) 日本(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(19) H(9) B(3)
G(2)
IPC大类 C23(19)
IPC小类 C23C(19) H01L(8) C01B(7)
B82Y(2) C25B(2) C30B(2)
G01N(2) H01B(2) H01J(2)
IPC C23C016/50(19)
发明人 LEE C(3) LEE C S(3) LI C(3)
SHIN H(3) SHIN H J(3) ZHANG L(3)
BYUN K(2) BYUN K E(2) LI Y(2)
SHEN X(2) WANG X(2) YE Q(2)
公开年 2021(19)
申请年 2021(10)  2020(9) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3)