| 国家/地区 | 中国(14) 韩国(8) 美国(8) 日本(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(19)
H(9)
B(3)
G(2) |
| IPC大类 |
C23(19)
|
| IPC小类 |
C23C(19)
H01L(8)
C01B(7)
B82Y(2) C25B(2) C30B(2) G01N(2) H01B(2) H01J(2) |
| IPC |
C23C016/50(19)
|
| 发明人 |
LEE C(3)
LEE C S(3)
LI C(3)
SHIN H(3) SHIN H J(3) ZHANG L(3) BYUN K(2) BYUN K E(2) LI Y(2) SHEN X(2) WANG X(2) YE Q(2) |
| 公开年 |
2021(19)
|
| 申请年 | 2021(10) 2020(9) |
| 专利权人 | SAMSUNG ELEC.(3) |
VINIT K, KIM H U, LEE J, SEOK H, KIM T, KIM T S, SEOK H H, WOO K H, CANADEVINIT
LEE C, KIM C, LEE E, BYUN K, KIM S, SHIN H, SHIN H J, BYUN K E, LEE C S, LI C, JIN C, LI Y, JIN S, SHEN X
YU W, LIU L, HUANG Y, JIA L, SHI X, LIU X, LU W, CONG R
LEE C, LEE S, SHIN H, BYUN K, SHIN K, SHIN K W, BYUN K E, SHIN H J, LEE S Y, LEE C S
