国家/地区 美国(16) 世界知识产权组织(14) 韩国(11) 欧洲专利局(EPO)(9) 日本(8) 中国(7) 台湾(6) 英国(5) 法国(2)
IPC部 C(23)
IPC大类 C01(23)
IPC小类 C01B(23)
IPC H01L021/02(23)
发明人 BERRY V(3) DIXON S(3) GUINEY I(3)
SEACRIST M R(3) THOMAS S(2)
公开年 2013(6) 2022(3) 2011(2) 2015(2) 2017(2) 2021(2) 2023(2)
申请年 2012(5)  2021(4)  2016(3)  2009(2)  2014(2)  2022(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(3) SUNEDISON SE.(3) MEMC ELECTRO.(2) UNIV KANSAS .(2)