国家/地区 美国(25)
IPC部 C(25) H(15) B(9)
G(2)
IPC大类 C01(25) C23(15) H01(15)
C30(4) B01(3) B82(3)
B32(2)
IPC小类 C01B(25)
IPC C01B032/186(25)
发明人 GUINEY I(3) LEE C(3) LEE C S(3)
SHIN H(3) SHIN H J(3) THOMAS S(3)
TYLER M(3) BYUN K(2) BYUN K E(2)
GLASS H(2) KIM C(2) LEE E(2)
NARKEVICIUTE I(2) SHIN K(2) SHIN K W(2)
公开年 2021(25)
申请年 2020(14)  2021(10) 
专利权人 PARAGRAF LTD(3) SAMSUNG ELEC.(3) LAM RES CORP(2)