国家/地区 美国(11) 世界知识产权组织(7) 日本(6) 韩国(6) 台湾(6) 中国(5) 英国(4) 德国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(21)
IPC大类 C01(21) H01(21) C23(10)
C30(4)
IPC小类 C01B(21)
IPC H01L021/02(21)
发明人 DIXON S(3) GUINEY I(3) THOMAS S(3)
WANG J(2)
公开年 2022(10) 2021(9) 2023(2)
申请年 2021(21)
专利权人 PARAGRAF LTD(3) APPLIED MATE.(2) FUJITSU LTD(2) TOKYO ELECTR.(2)
UNIV SINGAPO.(2)