国家/地区 美国(10) 台湾(7) 中国(4) 世界知识产权组织(4) 英国(3) 日本(3) 韩国(3)
IPC部 C(17)
IPC大类 C01(17) H01(17) C23(6)
B82(3) C30(3) H05(2)
IPC小类 C01B(17)
IPC H01L021/02(17)
发明人 DIXON S(3) GUINEY I(3) THOMAS S(2)
公开年 2022(17)
申请年 2021(10)  2022(6) 
专利权人 PARAGRAF LTD(3) FUJITSU LTD(2) TAIWAN SEMIC.(2)