国家/地区 美国(26)
IPC部 C(26)
IPC大类 C01(26) H01(20) C23(13)
B82(5) B01(2) C08(2)
C09(2) C25(2)
IPC小类 C01B(26)
IPC C01B032/186(13) C23C016/26(12) H01L021/02(7)
H01L021/768(7) C23C016/511(6) H01L021/285(6)
B82Y040/00(5) C23C016/02(5) C23C016/50(5)
H01L023/532(5) H01L029/16(5) C01B032/182(4)
C23C016/505(4) C01B031/02(3) C01B031/04(3)
发明人 LEE C(26)
公开年 2020(5) 2022(5) 2021(4) 2023(4) 2017(3) 2014(2) 2015(2)
申请年 2021(8)  2016(3)  2019(3)  2020(3)  2022(3)  2013(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(21) LEE C(2) LEE J(2)

KIM S, BYUN K, CHO Y, SHIN K, LEE E, LEE C, SONG H, SHIN H, YOON J, LEE S, LIM H, BYUN K E, CHO Y C, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, SHIN H J, SU Y J, LEE S Y, LIM H S, LI Z, YOUN J, SHEN X, LI C, LI Y, ZHAO L, JIN S