国家/地区 中国(15)
IPC部 C(15)
IPC大类 C30(15)
IPC小类 C30B(15)
IPC C30B029/02(8) C30B025/00(3) C30B025/18(3)
C30B029/06(3) C23C014/06(2) C30B025/02(2)
C30B029/40(2) C30B033/10(2) H01L021/02(2)
发明人 WANG W(3) JU Q(2) LI X(2)
MA Y(2) WANG J(2) ZHANG S(2)
公开年 2019(11) 2020(4)
申请年 2019(15)
专利权人 SHANGHAI INS.(2) UNIV PEKING(2)