国家/地区 中国(18) 美国(18) 世界知识产权组织(10) 欧洲专利局(EPO)(9) 日本(9) 韩国(7) 印度(3)
IPC部 B(32)
IPC大类 G01(32) B82(23) H01(19)
C01(7) C09(4) B05(3)
B01(2) B32(2) B81(2)
C07(2) C08(2)
IPC小类 G01J(32)
IPC B82Y030/00(10) B82Y020/00(8) B82Y040/00(7)
G01J001/02(7) G01J001/42(7) H01L031/10(6)
B82Y015/00(5) H01L031/0224(5) H01L031/0352(5)
H01L031/09(5) H01L031/18(5) G01J005/00(4)
H01L029/06(4) H01L031/028(4) C01B031/02(3)
发明人 COLLI A(2) HUANG Z(2) KONDO D(2)
KONDO O(2) ZHANG Y(2)
公开年 2013(6) 2021(5) 2018(4) 2022(4) 2017(3) 2020(3) 2015(2)
申请年 2021(7)  2012(4)  2019(4)  2011(3)  2017(3)  2018(3)  2013(2)  2014(2)  2016(2)  2020(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(3) NOKIA CORP(2) NOKIA TECHNO.(2) SAMSUNG ELEC.(2)
UNIV CHINA E.(2)