国家/地区 中国(21)
IPC部 B(21)
IPC大类 H01(21) B82(11) B32(4)
C23(3) B22(2) B81(2)
H05(2)
IPC小类 H01L(21)
IPC B82Y030/00(6) B82Y040/00(6) H01L031/18(5)
B82Y010/00(3) H01L029/778(3) H01L031/0336(3)
B32B009/00(2) B32B009/04(2) B32B027/30(2)
B32B027/32(2) B32B027/36(2) B32B033/00(2)
B82Y015/00(2) H01L021/02(2) H01L021/336(2)
发明人 WANG X(2) ZHANG S(2)
公开年 2023(21)
申请年 2022(15)  2023(4)  2021(2) 
专利权人